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當前位置:產(chǎn)品中心

    立式光彈儀

  • 產(chǎn)品規(guī)格
    主要技術(shù)參數(shù):

    l  測試面積(即光源尺寸):100 mm×100mm – 600mm×500mm,可選;

    l  應力雙折射量程:基本型: 1/4波長(以紅光為例:157.5nm);增強型:2296nm (通過藍綠光雙波長法 測試和解包裹處理);

    l  測試分辨率與精度:以0.8mm厚的鈣鈉玻璃為例:應力分辨率為 0.2MPa 應力測試精度:1.0MPa

    雙折射分辨率:0.1nm,精度:1.0nm(以軟件矯正功能后的數(shù)據(jù)為準).

用途:測試SiC晶圓、手機膜、顯示屏等器件的殘余應力
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主要技術(shù)參數(shù):

l  測試面積(即光源尺寸):100 mm×100mm – 600mm×500mm,可選;

l  應力雙折射量程:基本型: 1/4波長(以紅光為例:157.5nm);增強型:2296nm (通過藍綠光雙波長法 測試和解包裹處理);

l  測試分辨率與精度:以0.8mm厚的鈣鈉玻璃為例:應力分辨率為 0.2MPa 應力測試精度:1.0MPa。

雙折射分辨率:0.1nm,精度:1.0nm(以軟件矯正功能后的數(shù)據(jù)為準).

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